中国科学院兰州化物所固体润滑实验室
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MFD800特种材料表面功能化薄膜沉积系统
日期:2012-08-21 | | 【

薄膜沉积设备

MFD800特种材料表面功能化薄膜沉积系统

 途:用于各种特殊金属表面及轻质合金表面的镀膜处理、类金刚石膜(DLC)以及其它固体润滑薄膜的制备

主要指标:

真空室尺寸:Φ800mm*800mm

可镀工件最大尺寸:Φ300mm*300mm

极限真空度:5*10-5Pa

样品要求:适应于各种陶瓷、金属、玻璃、聚合物等表面薄膜沉积

 

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