中国科学院兰州化学物理研究所

论文

论文题目：	Effect of dopants (F, Si) material on the structure and properties of hydrogenated DLC film by plane cathode PECVD
第一作者：	Xubing Wei;Lin Chen;Minglan Zhang;Zhibin Lu;Guangan Zhang
联系作者：
发表刊物：	Diamond & Related Materials
发表年度：	2020
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