中国科学院兰州化学物理研究所

专利

专利名称：	一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法
专利类别：	发明专利
第一发明人：	王德生；胡明；杨军；刘维民；翁立军；孙嘉奕；伏彦龙；高晓明；姜栋
其他发明人：	王德生；胡明；杨军；刘维民；翁立军；孙嘉奕；伏彦龙；高晓明；姜栋
申请号：
专利号：	201310544722.9
申请日期：	2013-11-7
专利授权日期：	2017-04-26
国外申请方式：
国外申请日期：
国外授权日期：
专利证书号：	2466692
专利摘要：
实施情况：
其他备注：

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