专利名称: | 一种CrN/Cr/Si3N4/Cr多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 |
专利类别: | 发明专利 |
第一发明人: | 胡明;伏彦龙;刘维民;翁立军;杨军;王德生;高晓明;姜栋;孙嘉奕 |
其他发明人: | 胡明;伏彦龙;刘维民;翁立军;杨军;王德生;高晓明;姜栋;孙嘉奕 |
申 请 号: | |
专 利 号: | 201310544712.5 |
申请日期: | 2013-11-7 |
专利授权日期: | 2017-03-29 |
国外申请方式: | |
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专利证书号: | 2432381 |
专利摘要: | |
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