中国科学院兰州化学物理研究所

专利

专利名称：	一种非光刻技术制备倒金字塔结构硅表面的方法
专利类别：	发明专利
第一发明人：	王富国；张俊彦
其他发明人：
申请号：	1108697.2
专利号：
申请日期：	2013-12-20
专利授权日期：	2018-06-08
国外申请方式：
国外申请日期：
国外授权日期：
专利证书号：	2013-88
专利摘要：
实施情况：
其他备注：

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