中国科学院兰州化学物理研究所

专利

专利名称：	一种磁控溅射制备超硬超光滑四面体碳薄膜的装置与方法
专利类别：	发明授权
第一发明人：	张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健
其他发明人：
申请号：	201510705271.1
专利号：
申请日期：	2015年10月27日
专利授权日期：	2019年3月1日
国外申请方式：
国外申请日期：
国外授权日期：
专利证书号：
专利摘要：
实施情况：
其他备注：

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