中国科学院兰州化学物理研究所

专利

专利名称：	一种励磁调制阳极辅助磁控溅射离子镀膜系统
专利类别：	发明
第一发明人：	张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力
其他发明人：
申请号：
专利号：	202010241253.3
申请日期：	20200331
专利授权日期：	20210504
国外申请方式：
国外申请日期：
国外授权日期：
专利证书号：
专利摘要：
实施情况：
其他备注：

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