摘要: 以无皂乳液聚合方法制备的聚苯乙烯（PS）微球为内核，硝酸铈为铈源，六亚甲基四胺为沉淀剂，采用液相工艺制备了PS/CeO2复合颗粒。利用XRD、TEM、SAED、FESEM、EDAX等手段，对所制备样品的物相结构、形貌、粒径大小和元素成分组成进行表征。将所制备的复合磨料用于硅晶片热氧化层的化学机械抛光，用AFM观察抛光表面的微观形貌，并测量表面粗糙度。结果表明，所制备的PS/ CeO2复合颗粒具有核－壳结构，呈近球形，粒径在250～300 nm，PS内核表面被粒径在5~10 nm 的CeO2纳米颗粒均匀包覆，壳层的厚度为10~20 nm。抛光后的硅热氧化层表面在5 μm×5 μm范围内粗糙度Ra值和RMS值分别为0.188 nm和0.238 nm，抛光速率达到461.1 nm/min。
关键词: PS/CeO2复合磨料；核－壳结构；包覆；化学机械抛光
作者 单位
陈 杨 江苏工业学院 材料科学与工程学院，江苏 常州 213164；常州市高分子新材料重点实验室，江苏 常州 213164
隆仁伟 江苏工业学院 材料科学与工程学院，江苏 常州 213164
陈志刚 江苏工业学院 材料科学与工程学院，江苏 常州 213164
丁建宁 江苏工业学院 材料科学与工程学院，江苏 常州 213164;常州市新能源工程重点实验室，江苏 常州 213164
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《摩擦学报》,2010,30(1):9~14
