摘要: 采用电弧离子镀技术在NiTi形状记忆合金表面制备了TiN薄膜，利用X射线衍射、扫描电子显微镜、原子力显微镜、轮廓仪、纳米压痕仪和摩擦试验机表征了TiN薄膜的相成分、表面特性、厚度、硬度和膜基结合力.通过摩擦试验对比了未镀膜和镀膜NiTi合金的摩擦磨损特性.结果表明：制得的TiN薄膜均匀、致密，且提高了NiTi合金的硬度；在干摩擦、0.9%NaCl溶液和Hank's溶液润滑介质条件下，TiN薄膜表现出良好的减摩抗磨性能，并提高了NiTi合金的抗摩擦磨损特性。

关键词: 脉冲电弧离子镀；NiTi形状记忆合金；TiN薄膜；摩擦磨损性能

作者单位

李小侠 江西财经大学功能材料研究所，江西南昌 330013 

李波 兰州大学物理科学与技术学院材料科学系，甘肃兰州 730000；

鞍山科技大学材料学院，辽宁鞍山 114051 

E-mail：lixiaoxia04@sina.com 

《摩擦学报》,2010,30(3):229~234