摘要: 利用磁控溅射技术制备了不同金属(Ti、Cr、Zr)掺杂类石墨（graphite-like carbon, GLC）薄膜，考察了金属掺杂对薄膜结构及其在不同环境下摩擦学性能的影响。结果表明：Ti、Cr、Zr掺杂促进了GLC膜中sp2结构的增加，但过快的金属共沉积速率易使薄膜出现柱状生长取向而变得疏松粗糙；高硬GLC膜在大气及水环境中具有良好的环境自适应减摩抗磨作用特性，适当的金属掺杂可以提高GLC膜硬度并降低其干摩擦系数，但会使其水环境中摩擦系数升高；致密度和硬度对GLC膜耐磨性至关重要，致密而硬的膜层磨损轻微。
关键词: GLC膜；金属；结构；摩擦学性能
作者 单位
王永欣 1.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州 730000； 2.中国科学院 研究生院，北京 100039
王立平 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州 730000
薛群基 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州 730000
E-mail: lpwang@licp.cas.cn
《摩擦学学报》,2011,31(1):72~77
