摘要: 采用反应磁控溅射法制备了CrN、CrSiN与CrAlN复合薄膜，分析了复合薄膜的微观结构，并考察了3类薄膜的摩擦磨损性能。结果表明：所制备的薄膜晶体结构没有随着Si或Al的加入发生转变，仍然为面心立方结构。CrAlN复合薄膜为合金复合薄膜，其中Al以置换方式固溶于CrN中，取代了一部分Cr原子，形成固溶体；CrSiN复合薄膜为晶态CrN与非晶态Si3N4组成纳米复合结构。复合薄膜结构致密且硬度较CrN大幅提高，在摩擦磨损过程中具有较强的抗形变能力，能够有效阻止裂纹，抗摩擦磨损性能较CrN薄膜均有不同程度的提高。

关键词: 复合材料；CrN基薄膜 结构：摩擦磨损；

作者 单位

张广安 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州　730000　 

王立平 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州　730000　 

刘千喜 仪征双环活塞环有限公司，江苏 仪征 211400　 

薛群基 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州　730000 

E-mail: gazhang@licp.cas.cn

《摩擦学学报》,2011,31(2):181~186