摘要: 采用线性阳极层离子束技术制备了类金刚石薄膜(DLC膜),研究了不同衬底负偏压和测试环境对DLC薄膜摩擦学性能的影响。结果表明:在-50V偏压下,薄膜硬度和弹性模量最大,这主要与薄膜中高的sp³含量相关;衬底负偏压对薄膜在室温大气条件下的摩擦学性能影响不显著,薄膜总体呈现较低的摩擦系数和磨损率,显示出优异的抗磨损性能；线性离子束制备的含氢DLC薄膜的摩擦学行为受湿度及环境气氛影响较大,归因于环境中的氧气和水分造成的摩擦化学反应。

关键词: 阳极层离子源；DLC；衬底负偏压；摩擦学行为

作者 单位 

赵博通 1. 中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,浙江 宁波 315201; 2. 中国科学院 研究生院,北京 100049　 

代伟 中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,浙江 宁波 315201　 

柯培玲 中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,浙江 宁波 315201　 

汪爱英 中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,浙江 宁波 315201 

E-mail: aywang@nimte.ac.cn 

《摩擦学学报》,2011,(5):510~514