摘要: 利用脉冲等离子体增强化学气相沉积系统沉积了含氮类金刚石碳薄膜。利用X射线光电子能谱和红外光谱分析了薄膜的化学键状态,在UMT摩擦磨损试验机上考察了薄膜的摩擦学性能,利用扫描电子显微镜分析了摩擦对偶球表面的转移膜形貌。结果表明:随着薄膜中氮含量的增加,薄膜中的sp2C含量增加,硬度有所降低,薄膜的平均摩擦系数先减小后增加。

关键词: 类金刚石碳薄膜；掺氮；摩擦学；力学

作者 单位

王成兵 兰州交通大学 国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心,甘肃 兰州 730070　 

王舟 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000　 

张俊彦 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000 

E-mail: wangchengbing@gmail.com

《摩擦学学报》,2012,32(1):59~63