摘要：采用RF-PECVD与磁控溅射复合技术制备了MoSx掺杂的DLC(a-C:H:Mo:S)薄膜，并对其组成、表面形貌、纳米硬度及热稳定性进行了分析。在QG-700摩擦试验机上考察了其在不同滑动速度下的摩擦行为。通过对摩擦表面的光学显微观察、扫描电镜(SEM)观察及能谱(EDS)分析，简单探讨了其摩擦磨损机理。结果表明:随着速度的增加，a-C:H:Mo:S/Si₃N₄体系的摩擦系数先升高后降低，而磨损率则表现出相反的变化趋势。分析认为摩擦系数的升高与高湿度下薄膜表面的氧化反应有关，而降低则主要是由于石墨化所致。

关键词：DLC膜；掺杂；摩擦磨损；速度

作者单位

赵飞 1. 河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003 

逄显娟 1. 河南科技大学化工与制药学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003　 

杜三明 1. 河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003　 

刘敬超 1. 河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003　 

牛永平 1. 河南科技大学化工与制药学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003　 

李红轩 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室, 甘肃兰州 730000　 

张永振 1. 河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003 

E-mail: feizhao@mail.haust.edu.cn 

《摩擦学学报》，2012，32（5）：524~530