摘要：采用射频等离子体增强化学气相沉积与非平衡磁控溅射复合技术制备了MoSx掺杂的DLC薄膜(a-C:H:Mo:S)，在QG-700摩擦试验机上考察了其在不同载荷下的摩擦磨损行为。通过对摩擦表面的扫描电镜(SEM)观察及能谱(EDS)分析，简单探讨了其摩擦磨损机理。结果表明：随着载荷的增加,a-C:H:Mo:S/Si₃N₄体系的摩擦系数及磨损率均呈先降后升的趋势，在高速下尤为明显。初步分析认为该现象与摩擦热效应导致的接触层结构转化相关。

关键词：DLC膜；掺杂；摩擦磨损；载荷

作者单位

赵飞 1. 河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003

逄显娟 1. 河南科技大学化工与制药学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003　 

杜三明 1. 河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003　 

刘敬超  1. 河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003　 

牛永平 1. 河南科技大学化工与制药学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003　 

李红轩 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室, 甘肃兰州 730000　 

张永振 1. 河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳 471003; 2. 河南省材料摩擦学重点实验室, 河南洛阳 471003 

E-mail: feizhao@mail.haust.edu.cn 

《摩擦学学报》，2012，32（5）：516~523