摘要: 采用中频磁控溅射技术在AISI 440C钢表面制备了不同调制周期的Cr/Ag纳米多层薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)及高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了纳米多层薄膜的微观组织结构,通过划痕试验机与真空球-盘摩擦试验机分别测试了纳米多层薄膜膜-基结合强度及真空摩擦学性能,并与纯Ag薄膜及Cr/Ag双层薄膜进行了对比.结果表明:纳米多层结构可以显著提高Ag基固体润滑薄膜膜-基结合强度,Cr/Ag纳米多层薄膜在较高转速及载荷条件下表现出明显优于纯Ag及Cr/Ag双层薄膜的摩擦学性能.Cr薄膜层与钢基体表面良好结合以及纳米多层薄膜内良好的层间结合性能是纳米多层薄膜膜-基结合强度提高的主要原因.

关键词: 磁控溅射；Cr/Ag纳米多层薄膜；膜-基结合强度；摩擦学性能

作者单位

胡明 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州 730000 

张立平 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春 130033　 

高晓明 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州 730000　 

伏彦龙 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州 730000　 

杨军 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州 730000　 

翁立军 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州 730000 

E-mail: hum413@lzb.ac.cn 

《摩擦学学报》,2012,32(6):544~549